HCEB系列

钙钛矿蒸镀设备

Perovskite deposition equipment
真空应用解决方案提供商
首页 > 能源PVD设备 > 钙钛矿蒸镀设备
Perovskite deposition equipment 钙钛矿蒸镀设备

      高集成设计,灵活性好,兼容性高,自动蒸镀控制系统实现全自动工艺,高均匀性蒸发源、双源共蒸、高精度膜厚监控、防腐蚀性技术,膜厚均匀性高,重复性强,速率稳定,可蒸镀腐蚀性钙钛矿材料,对材料限制性低,蒸镀器件效率高,寿命长,可满足顶发射器件制备要求,占地面积小,使用成本低,维护成本低,性价比高。

Product Advantage.

产品特点
HCEB系列钙钛矿蒸镀设备包括以下关键功能:
  • 模块化
  • 均匀沉积
  • 高精度膜厚监控
  • 多源共蒸
  • 工艺灵活
  • 紧凑
型号 HCEB
基板尺寸 ≤300×300mm,数量4片
应用 钙钛矿太阳电池/OLED/LED等光电器件
抽速 大气压至1.5×10-3Pa≤30min
极限真空度 8.0×10-5Pa
蒸发源 8组蒸发源,可实现双源共蒸,可配电子束蒸发系统
mask 每个基片可配不同mask
膜厚控制仪 晶控

Application cases.

应用案例
您想要了解更多吗?

电话:13316689188

邮箱:office@hcvac.com

Online Message.

在线留言
提交