Roll-to-roll coater for flexible solar cells 柔性太阳电池卷绕镀膜设备

     自下而上溅射防止掉渣，旋转圆柱磁控靶，靶材利用率高，等离子体前处理，DC/DC-pulse/MF/RF工艺，闭环张力控制避免基材刮伤和褶皱，不同工艺之间气氛隔离，镀膜辊温度在-15～80℃可控，薄膜性能在线检测系统。