能源PVD设备,太阳能镀膜生产线,磁控溅射镀膜生产线-汇成真空

高度灵活的多室水平直列溅射平台，满足当前所有玻璃镀膜需求及工艺，优化太阳能控制和其他高级功能涂层，自下而上的溅射模式适用于对颗粒缺陷严格管控的领域。

本设备广泛运用在太阳能电池上，透明导电膜作为减反射层和透明电极使用，可以提高太阳能的转换效率，降低成本，无毒环保，膜层稳定，同时可以消除立式生产线无法大规模生产的弊端，可以大大提高生产量。

热型ALD/等离子体增强型ALD，配置独立表面清洗、溅射、反应溅射腔，实现多膜层在真空条件下切换成膜，实现原子级别厚度控制，实现高度均匀涂层覆盖。

高集成设计，灵活性好，兼容性高，自动蒸镀控制系统实现全自动工艺，高均匀性蒸发源、双源共蒸、高精度膜厚监控、防腐蚀性技术。

自下而上溅射防止掉渣，旋转圆柱磁控靶，靶材利用率高，等离子体前处理，DC/DC-pulse/MF/RF工艺，闭环张力控制避免基材刮伤和褶皱，不同工艺之间气氛隔离，镀膜辊温度在-15～80℃可控，薄膜性能在线检测系统。

一次走帶完成PET/PP双面镀铜膜的PVD卷绕镀膜设备，高致密、附着力强的金属膜，高精度卷绕系统，低张力控制，基材特殊展平效果，实现高产能批量化生产。

该系列设备在厚度4.5-8.0µm的PET/PP等基材表面采用蒸发的方式，双面镀制一层1µm的铝膜，实现薄膜表面金属化，“PVD铝-高分子支撑层-PVD铝”三明治结构，攻克大规模快速蒸发沉积厚铝膜难关。

HCVAC将碳基涂层工艺和真空镀膜设备技术的长期经验应用于燃料电池金属双极板，通过等离子体表面清洁和特殊结合层工艺，获得结合力、导电性和耐腐蚀性良好的贵金属涂层和SCG涂层。

Low-E玻璃磁控溅射镀膜生产线，主要用于单、双银低辐射玻璃镀膜，以及可钢化单、双银低辐射玻璃镀膜。用于节能建筑的幕墙及门窗玻璃，能够隔热节能，防治光污染。