Vertical inline coating equipment for solar 太阳能立式连续镀膜生产线

     本设备广泛运用在太阳能电池上，透明导电膜作为减反射层和透明电极使用，可以提高太阳能的转换效率，降低成本，无毒环保，膜层稳定，同时可以消除立式生产线无法大规模生产的弊端，可以大大提高生产量。

     设备采用大面积溅射技术，镀膜机宽度大，可以同时处理很多基片，特别适用于极低成本、高生产率应用，该系统也适用于其他小尺寸和非常薄的基片。

     由于采用模块化设计，镀膜线可以配备旋转磁控管，以溅射沉积高性能透明导电氧化物膜层或者多种其他材料，例如金属和金属氧化物，可以在真空状态下或在基片进入真空状态之前对基片进行预处理，比如对基片进行清洗或蚀刻。

优势：

•采用闭环控制器的高反应溅射率
•出色的气体分离技术
•灵活配置以满足特定的生产需求
•3、5或7倍微调气体分布以提高涂层均匀性
•优化的磁性配置，具有出色的均匀性和利用率
•兼容工业机器人的自动装卸