Horizontal inline coating equipment for solar 太阳能卧式连续镀膜生产线

      高度灵活的多室水平直列溅射平台，满足当前所有玻璃镀膜需求及工艺，优化太阳能控制和其他高级功能涂层，自下而上的溅射模式适用于对颗粒缺陷严格管控的领域。

      采用磁控溅射、蒸发、HiPIMS、PECVD、CSS等镀膜技术，灵活配置，满足不同工况要求，全自动化系统，优化大规模生产，设计可以灵活适应客户的需求。通过可旋转靶技术实现高靶材利用率，在真空室中采用折返室概念，最大限度地减少占地面积。

      广泛应用于CdTe、CIGS、钙钛矿、HJT、IBC、TOPCON等太阳电池，包括减反射层、缓冲层、电极层和绝缘层，溅射ITO, i-ZnO，AZO, NiO, TiO2和Mo、Al、Cu、Ag、Cr、NiV等金属层。