该设备广泛应用于表壳、表带、手机壳、高尔夫球具、五金、餐具等镀TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各种多元合金化合物装饰镀层。
提供各种金属颜色的涂层，如钢、镍、金、青铜以及无烟煤和黑色。涂层的颜色是由其成分决定的，由锆、钛、氮、碳、氧等金属组成。我们的工艺工程团队可以根据您的要求对颜色进行微调，使您有可能在您的市场中独树一帜。
沉积速度快、基材温升低、膜层损伤小
占地面积小，易于集成到工厂
精确控制镀层的厚度
薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好
不同金属、合金、氧化物混合溅射
本地或远程监控镀膜过程
| 型号 | HCMS-1212 |
| 真空室尺寸 | Ф1200×H1200mm |
| 制膜种类 | 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源 |
| 靶类型 | 直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶、圆柱靶 |
| 真空室结构 | 立式双开门、立式单开门 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷系统） |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 |
| 控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCMS-1612 |
| 真空室尺寸 | Ф1600×H1200mm |
| 制膜种类 | 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源 |
| 靶类型 | 直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶、圆柱靶 |
| 真空室结构 | 立式双开门、立式单开门 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷系统） |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 |
| 控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCMS-1912 |
| 真空室尺寸 | Ф1900×H1200mm |
| 制膜种类 | 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源 |
| 靶类型 | 直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶、圆柱靶 |
| 真空室结构 | 立式双开门、立式单开门 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷系统） |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 |
| 控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCMS-2121 |
| 真空室尺寸 | Ф2100×H2100mm |
| 制膜种类 | 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源 |
| 靶类型 | 直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶、圆柱靶 |
| 真空室结构 | 立式双开门、立式单开门 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷系统） |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 |
| 控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
