This machine can be used for depositing metal films such as TiN, TiC, ZrN, CrN, Nickel, Cr, Cu, and other compound films. It also supports multi-layer superhard coatings, multi-component films, and gold-colored titanium nitride coatings.
It is widely applied for decorative coatings on car wheels, golf clubs, watches, hardware, lamps, eyeglass frames, ceramics, and glass, as well as superhard coatings on tools and molds.
整个腔室中均匀的镀膜沉积速率
沉积速度快、离化率高、产量大
易于操作与维护
单件镀膜成本低
提供工厂远程诊断
绿色生产，无污染产生
| 型号 | HCCA-1215 |
| 真空室尺寸 | Ф1200×H1500mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCCA-1618 |
| 真空室尺寸 | Ф1600×H1800mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCCA-1619 |
| 真空室尺寸 | Ф1600×H1900mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCCA-1820 |
| 真空室尺寸 | Ф1800×H2000mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
