该设备可用于沉积TiN（氮化钛）、TiC（碳化钛）、ZrN（氮化锆）、CrN（氮化铬）、镍、铬、铜等金属膜层及其他化合物薄膜。同时支持多层超硬涂层、多元复合薄膜及金色氮化钛涂层制备。
广泛应用于汽车轮毂、高尔夫球杆、手表、五金件、灯具、眼镜架、陶瓷、玻璃等产品的装饰性镀膜，以及工具模具的超硬涂层处理。
整个腔室中均匀的镀膜沉积速率
沉积速度快、离化率高、产量大
易于操作与维护
单件镀膜成本低
提供工厂远程诊断
绿色生产，无污染产生
| 型号 | HCCA-1215 |
| 真空室尺寸 | Ф1200×H1500mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCCA-1618 |
| 真空室尺寸 | Ф1600×H1800mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCCA-1619 |
| 真空室尺寸 | Ф1600×H1900mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
| 型号 | HCCA-1820 |
| 真空室尺寸 | Ф1800×H2000mm |
| 制膜种类 | 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 | 多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 | 常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 | 1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 | 上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 | 手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
