功能丰富

提供最佳测量精度

Rich functions to provide the best measurement accuracy
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Optical thickness monitor Accurate control of deposition rate and thickness 光学膜厚监控仪

     独特的频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,赋予监控过程卓越的可重复性。通过沉积控制器,可利用 QCM 传感器对沉积过程实现速率控制。汇成真空可按您的要求为您提供具有从最基本到最齐全功能的任何沉积控制器。

      即使在速率极低的情况下也可确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率,通过自动测定沉积材料的比值,可提高厚度测量的精度,支持多个来源同时共沉积,USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录。

      通过光学膜厚监控仪,您可以极其准确地控制沉积速度和厚度,能够达到几乎任何层数,安装轻松且可靠性极高,从而确保生产效率。汇成真空提供了一种拥有成本极低的仪表,为您带来前所未有的价值。无论您的控制需要属于生产还是研发领域,都能从光学膜厚监控仪中找到完美的解决方案。

Product Advantage.

产品优势
光学膜厚监控仪包括以下关键功能:
  • 自动

    自动测定沉积材料,提高厚度测量的精度

  • 直观

    彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

  • 简单

    易于操作和维护

  • 通用

    高性能、高通用性

  • 强大存储

    USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录

  • 连网通信

    提供以太网连接

型号 IC6
测量性能
频率分辨率 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.00433 Å
测量频率范围 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2) 0.50%
测量周期 0.10 s
多个测量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能
Auto Z yes
自动色调 yes
共沉积 yes (up to 6 sources)
过程配方和数据管理
材料计划 32
过程层(每个过程) 200
过程 50 (processes can be linked together)
USB 存储器 yes
数据记录 yes
硬件功能
传感器 (3)
8
双 / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
通用 8
来源控制
来源数量 (4) up to 6
来源控制电压 0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率 15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置 64
输入 / 输出
输入 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4) 0 to +10 V, adjustable
逻辑语句 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信
标准 RS232
可选 Ethernet
操作
电源要求 100 – 230 V (ac) +/- 15%
50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作温度 0 to 50°C (32 to 122°F)
尺寸 133mm x 483mm x 330 mm
重量 23 lbs (10.5 kg)
(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 兆赫兹
(2) 随过程变化;数值表示典型的精度
(3) 每种类型的最大配置
(4) IC6 有 6 个 DAC 输出标准,还可再选择再添加 6 个。 可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出,但可同时控制的来源数量为 6

Application cases.

应用案例
型号 XTC/3
频率分辨率 ±0.028 Hz @ 6 MHz
测量频率范围 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
测量周期 0.25 seconds
厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.034 Å
测量技术 ModeLock
过程数量 1
层数 1
材料计划(或薄膜)数量 9
传感器输入数量 2
CrystalSix / Crystal 12 传感器支持 Yes
支持 XTAL 2 开关 Yes
来源输出数量 2
计算机通信 RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
最大 RS232 波特率 115.2 KBaud
自动晶体转换 Yes
继电器数量 12, Not Event Assignable
可编程继电器功能数量 1
每个继电器的功能 1
继电器额定电压 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
输入数量 8 TTL, 24VDC Max
可编程输入功能数量 1, Not Event Assignable
记录器输出数量 1
手动电源 / 手持控制器 Yes
排气管风扇 No Exhaust Fan
测试模式 Yes
闸门延迟 Yes
二次成型模具 Yes
外壳尺寸 half rack, 2U high
速率和厚度显示分辨率 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通过输入选择膜 Yes
用户指南语言 English, Chinese
控制环路 PID
用于从 PC 操作的软件 Yes
数据记录 Yes
质量和稳定性功能 Yes
采样保持 (RateWatcher™) Yes
坩埚选择 Yes
坩埚反馈输入 Yes
选择控制电压极性 Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序锁定码 Yes
带图形的显示器 Yes
用户标记过程(手机式字母数字输入) No
用户标记膜(手机式字母数字输入) No
传输传感器控制 Yes
XTC/2 RS232 通信兼容性 Yes (limited)
(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 兆赫兹

Application cases.

应用案例
型号 SQC-310
测量
QCM 输入 2 (4 optional)
测量频率范围 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1) ± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.015 Å
频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C
测量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率显示 0.01 Å/sec
控制
存储 100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出 2 (4 optional)
输出信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器 8/8 (16/16 optional)
数字输入 5 VDC non-isolated
继电器 SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口 Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制 Optional (IPN 782-900-017)
显示器
类型 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表 Rate, deviation, power or full screen numeric
一般
功率 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
合规性 CE, RoHS
Windows® 软件 Included
壳体/安装 5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 赫兹,0.25 秒测量间隔

Application cases.

应用案例
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