HCAR系列

双腔磁控溅射

光学镀膜机

Multicavity magnetron sputtering optical coating machine
真空应用解决方案提供商
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High precision MAGNETRON SPUTTERING OPTICAL COATING MACHINE 双腔磁控溅射光学镀膜机

      溅射沉积系统在侧壁上装有多个圆柱形靶材,以提高沉积速率和多层涂层,该系统配备有直流脉冲或射频功率圆形阴极,垂直安装的基板和圆柱形阴极可最大程度地减少涂层过程中的颗粒污染,通过多个腔体的灵活组合,大大提高生产效率和膜层性能。

      旋转阴极装置与行内普通平面靶装置相比靶材使用周期与利用效率显著提高;可客制化的基板工件架结构定制,给客户产品摆放达到最大的利用空间;全自动一体的提拉升降的转架装置,大幅度减少机器开关门时间,大大提高了生产效率与工艺稳定性;汇成专利离子源具有工作范围广能量均衡,高离化率,超稳定工作效率,低耗能等特点。

      可利用时间精准控制薄膜厚度,达到设计工艺要求,节省晶控,光控环节,为客户省去大量的膜厚仪耗材;可生产高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低温成膜,可应对各种用途;自动调节气体流量专利装置,保持稳定的靶电压,保证成膜品质;可选“校正板外部调节机构”。

AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):
■  420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

颜色膜或渐变色膜:
■  以客户样板为准,连续五炉随机位置装片或满炉,颜色色差ΔE<1.2;
■  水煮测试:水煮 80℃30min,3M 百格测试(1*1mm)后大于 4B。

Product Advantage.

产品优势
HCAR系列高精密磁控溅射光学镀膜机包括以下关键功能:
  • 有效

    基于PC的有效自动系统控制,用于涂层过程

  • 优异

    优异的均匀性和最高的生产良率

  • 精准

    精确监控膜厚

  • 高效

    出色的溅镀技术和很强的量产能力

  • 专利

    汇成自主研发离子源

  • 简单

    易于操作和维护

型号 HCAR-1350T
镀膜区域 Φ1350x H700mm
结构 双腔室
适用波长 300nm~1100nm
转速 0~150RPM(可变 variable)
前室抽速 大气压至7.0Pa≤5min
成膜室抽速 3.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 8.0×10-5Pa
夹具系统 底部中心旋转公转夹具桶
溅射靶材 Nb,Si,Cr,Al,Ti ...
排气系统 低真空泵组 + 高真空泵组 + 低温泵
真空控制系统 真空控制器、皮宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 DC或MF磁控溅射源+ 等离子体源 + 阻抗式蒸发源
充气系统 MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪 晶控或光控
控制系统 工控电脑+触摸屏
光学薄膜应用 AR、UV/IR截止滤光片、AF、硬质AR膜、硬质膜、增强反射膜、装饰膜、带通滤光片、RGB滤光器、HR膜等
注:可客制化
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电话:13316689188

邮箱:office@hcvac.com