超⾼真空精密热蒸发镀膜机

采⽤超⾼真空蒸发镀膜技术，在极限真空环境下，配合在线残余⽓体分析仪实时监控残留有机物，搭载⾼精度阻蒸控制，⽀持选配射频离⼦源和光控系统，实现氧化物、氟化物等材料的超低吸收光学薄膜沉积。专为满⾜深紫外⾄红外波段光学元件及⾼功率激光系统的严苛镀膜需求⽽设计，⼴泛应⽤于激光光学薄膜、深紫外光刻、航空航天光电传感器及精密滤光⽚等⾼端领域。