光通信磁控溅射镀膜设备

专为光通信（Optical Communications）与硅光子（Silicon Photonics）制造打造的高端磁控溅射平台。搭载先进的等离子体辅助技术，可为无源器件（如薄膜光学滤光片、DWDM 滤光片、AWG）及有源器件（激光器、探测器）提供高精度的镀膜工艺。设备全面兼容三大主流材料平台：磷化铟（InP）、硅光子以及铌酸锂（LiNbO₃）。