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太阳能光伏导电膜连续式镀膜生产线

Continuous Coating Machine Line For Solar Cell
solar

本设备广泛运用在太阳能电池上,透明导电膜作为减反射层和透明电极使用,可以提高太阳能的转换效率,降低成本,无毒环保,膜层稳定,同时可以消除立式生产线无法大规模生产的弊端,可以大大提高生产量。

设备采用大面积溅射技术,镀膜机宽度大,可以同时处理很多基片,特别适用于极低成本、高生产率应用,该系统也适用于其他小尺寸和非常薄的基片。

由于采用模块化设计,镀膜线可以配备旋转磁控管,以溅射沉积高性能透明导电氧化物膜层或者多种其他材料,例如金属和金属氧化物,可以在真空状态下或在基片进入真空状态之前对基片进行预处理,比如对基片进行清洗或蚀刻。

应用领域

产品优势

Diversification

技术成熟

成熟的磁控溅射技术

Multi-function

单独间隔

各自间隔的真空腔室设计

Flexible

灵活

灵活配置载体传输系统

Temperature

温度可控

可靠加热控制系统

Effective

高效

低成本的高生产率

Customization

客制化

灵活的动态设计

技术参数

 

项目性能
适用基材M2、M4硅片
基材温度<150℃
ITO膜性能透过率>90%
电阻率<4 × 10-4 Ω · cm
薄膜均匀性≤±5%
节拍40~60s
稼动率≥90%
产能5000~8000片/小时

 

项目性能
适用基材M2、M4硅片
基材温度<150℃
薄膜均匀性≤±5%
节拍40~60s
稼动率≥90%
产能5000~8000片/小时
项目性能
适用基材M2、M4硅片
基材温度<150℃
薄膜均匀性≤±5%
节拍40~60s
稼动率≥90%
产能5000~8000片/小时

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