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复合铜箔卷绕真空镀膜设备镀制铜膜工艺介绍

2022-11-14

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      复合铜箔卷绕真空镀膜设备镀制铜膜工艺介绍,复合铜箔工艺又称复合集流体,是以 PET 等原料膜作为基膜经过真空镀膜等工艺,将其双面堆积上铜/铝 分子的复合材料。与传统集流体相比,复合集流体采用“金属-高分子材料-金属”三层复 合结构,通过真空蒸镀、磁控溅射等方式在高分子 PET/PP 膜表面形成纳米级金属,再通 过水电镀将金属层沉积增厚到 1μm 以上。轻薄化趋势下,PET 复合铜/铝箔都能做到小于 8μm 厚度的集流体,对动力电池的轻量化起到重要作用。


复合铜箔卷绕真空镀膜设备


      复合铜箔的生产工艺与复合铝箔类似。但主要使用的是物理气相沉积方法(PVD)在 4.5μm 厚度的 PET 表面溅射一层几十纳米的金属,第二步再采用离子置换/水电镀的方法增厚表面的金属层,形成的铜厚度约 1u。之后铜箔再经历水洗、防氧化处理、烘干、 分切即可打包出货。
      一种重要的 PVD 方法是真空磁控溅射活化。通过纯净的氩气,电子在真空条件下, 在飞跃过程中与氩原子发生碰撞,使其电离时产生出氩正离子和新的电子;受磁控溅射靶 材背部磁场的约束,大多数电子被约束在磁场周围,氩离子在电场作用下加速飞向阴极靶, 并以高能量袭击铜合金靶表面,使靶材发生溅射,在溅射粒子中,中性的靶原子或部分离子沉积在基膜上形成薄膜,厚度一般为 20-80nm。
       酸性离子置换一般将临铜球放置于钛蓝制作的阳极袋中,然后整个阳极袋都浸入酸性 药剂中,膜面作为阴极,以膜面金属层为阴极,膜面在穿过药剂槽液下辊之间穿行,膜面 浸入在药剂中,发生反应,进行离子迁移置换,在膜面上得到电子后,在膜面上形成铜层, 膜面上形成得铜堆积层厚度为 1u。
       复合铜箔目前是产业化加速量产在即,市场需求较大,市场前景广阔,关注度较高,因为复合铜箔的需求增大,整体推动了复合铜箔工艺优化和进展,同时也带动了复合铜箔卷绕真空镀膜设备产量增加。