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真空镀膜机为何要安装深冷捕集泵

2024-03-28

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       真空镀膜机镀高精密的膜层,要达到高真空环境,必须要抽走真空镀膜机腔体里面的空气,因此用真空泵抽走气体,是往往不够的,因为空气中,不仅有气体,还有水分,因此采用深冷捕集泵,必不可少
      在真空环节中,水分子量比氧气,氮气等空气主要成分的分子量都小,因此,无论是油扩散泵还是分子泵,都无法迅速,有效地将其抽出,故而越积越多,最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体;
      同时,由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象,会有少量油蒸汽进入真空系统。 
       由于水蒸气和油蒸汽的存在,导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度,导致抽真空时间变长,生产效率下降,所需真空度越高,环境湿度越大,影响越明显。 
       同时,水蒸气,油蒸汽的存在,会导致膜层牢固度下降,无法多层镀膜,颜色不均一等。 

       水蒸气在某些条件下还会电离,产生氧气,使靶材氧化,导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大,温度越高,所需真空度越高,影响越大。 因此,水蒸气,油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。


真空镀膜机


真空镀膜机镀高精密的膜层,所采用深冷捕集泵的性能特点
       1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
       2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色纯正;
       3、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
       4、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温; 
       5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制;            
       6、一台设备可设计两路负载输出;
       7、进口压缩机,环保混合型制冷剂; 
       8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示;
       9、除霜温度自由设定;
       10、具有水温温度、排气温度显示;
       11、缺水、水温过高报警;
       12、压缩机排气过高、压力过高保护;
       13、可本地、远程控制自由转换;
       14、RS485计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
       日常常规的真空镀膜机,镀常规产品,可能只需要真空泵抽真空就行,但是镀制高精密的膜层,如光学膜层、柔性材料膜层等,很多真空镀膜机都需要配置深冷捕集泵。