真空镀膜机镀高精密的膜层，要达到高真空环境，必须要抽走真空镀膜机腔体里面的空气，因此用真空泵抽走气体，是往往不够的，因为空气中，不仅有气体，还有水分，因此采用深冷捕集泵，必不可少
在真空环节中，水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；
同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。
由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。
同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。
水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。 因此，水蒸气，油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。
真空镀膜机镀高精密的膜层，所采用深冷捕集泵的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；
2、提高镀膜质量，防返油、不脱落、颜色纯正；
3、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-150℃；
4、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制；
6、一台设备可设计两路负载输出；
7、进口压缩机，环保混合型制冷剂;
8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；
9、除霜温度自由设定；
10、具有水温温度、排气温度显示；
11、缺水、水温过高报警；
12、压缩机排气过高、压力过高保护；
13、可本地、远程控制自由转换；
14、RS485计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。
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真空镀膜机，镀常规产品，可能只需要真空泵抽真空就行，但是镀制高精密的膜层，如光学膜层、柔性材料膜层等，很多真空镀膜机都需要配置深冷捕集泵。
