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高频感应蒸发卷绕真空镀膜设备

2022-11-12

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      高频感应蒸发镀膜技术,常见应用于镀制柔性薄膜材料,在柔性薄膜材料上镀制铝薄膜,它的效率高,膜层均匀性好,没有液滴,常应用于金银丝线领域,我们常称为高频感应蒸发卷绕真空镀膜设备


高频感应蒸发卷绕真空镀膜设备

      高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈中央,使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失(对铁磁体),致使蒸发材料升温,直至气化蒸发。膜材的体积越小,感应的频率就越高。在钢带上连续真空镀铝的大型设备中,高频感应加热蒸镀工艺已经取得令人满意的结果。

高频感应蒸发源的特点:
      1)蒸发速率大,可比电阻蒸发源大10倍左右;
      2)蒸发源的温度均匀稳定,不易产生飞溅现象;
      3)蒸发材料是金属时,蒸发材料可产生热量;
      4)蒸发源一次装料,无需送料机构,温度控制比较容易,操作比较简单。
 
它的缺点是:
      1)必须采用抗热震性好,高温化学性能稳定的氮化硼坩锅;
      2)蒸发装置必须屏蔽,并需要较复杂和昂贵的高频发生器;
      3)线圈附近的压强是有定值的,超过这个定值,高频场就会使残余气体电离,使功耗增大。
      高频感应蒸发镀膜技术是蒸发镀膜种的一种,因应用领域不一样,采用不同的蒸发镀膜镀膜方式。高频感应蒸发卷绕真空镀膜设备主要是针对卷绕薄膜材料制备的一款镀膜技术和设备。