真空热处理炉分真空钎焊炉、真空退火炉、真空气淬炉、真空烧结炉、真空热压扩散焊炉等，还包含渗氮、渗碳、脱脂与烧结等，应用领域广泛，在市场也占据比较大的比例。
（1）可以实现光亮热处理。工件在低于大气压的压力下加热时，不接触空气，不发生表面变化。将炉内抽真空到0.1～1Pa时，工件内的杂质含量可以降低到1.5ppm（1ppm=0.0001%），所以工件实现了清洁光亮淬火的目的。
（2）工件真空淬火后畸变小。如外径65mm，壁厚2mm的9Cr18向心轴承套圈，经真空淬火后，其椭圆度较普通热处理减小到1/8～1/9。
（3）具有脱气作用，提高被处理工件的力学性能和使用寿命。因为钢铁在冶炼时会吸气（H2、N2、CO等），从而产生微小气孔和氢脆，用真空技术可以将工件内的水分等不纯气体抽掉，使工件表面清洁光亮，不易发生氢脆。且因表面质量得到改善，工件耐磨性提高，其使用寿命可以提高30%～120%。
（4）可以减少热处理后的机加工余量。真空热处理后没有氧化脱碳现象，畸变很小，所以热处理后可以减少加工甚至免去机加工。
（5）分解氧化物。当真空度低于金属或合金的相应氧化物的分解压力时，其氧化物会发生分解，形成游离氧排出，使工件表面质量进一步提高，可活化工件表面。
（6）
真空热处理炉操作环境清洁，操作自动简便，属无公害、无污染的清洁热处理。
