真空镀膜机电子束加热蒸发的优点：
       ①镀膜机电子束加热比电阻加热具有更高的能量密度，可以蒸发高熔点材料，如W、Mo，Al2O3等，并可得到较高蒸发速率；
       ②被蒸发材料置于水冷铜坩埚内，可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜；
       ③电子束蒸发粒子动能大，有利于获得致密、结合力好的膜层。
       真空镀膜机电子束加热的缺点：
       ①结构较复杂，设备价格较昂贵；
       ②若真空镀膜机蒸发源附近的蒸气密度高，真空镀膜设备电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用，电子的能量将散失和轨道偏移。同时引起蒸气和残余气体的激发和电离，会影响膜层质量。