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真空镀膜机电子束加热原理及特点

2021-01-07

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       真空镀膜机电子束加热原理及特点:真空镀膜机电子束加热蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下,成为高能量密度的电子束,直接轰击到镀料上。电子束的动能转化为热能,使被料加热气化,完成蒸发镀膜。


真空镀膜机

       真空镀膜机电子束加热蒸发的优点:
       ①镀膜机电子束加热比电阻加热具有更高的能量密度,可以蒸发高熔点材料,如W、Mo,Al2O3等,并可得到较高蒸发速率;
       ②被蒸发材料置于水冷铜坩埚内,可避免坩埚材料污染,可制备高纯薄膜;
       ③电子束蒸发粒子动能大,有利于获得致密、结合力好的膜层。
       真空镀膜机电子束加热的缺点:
       ①结构较复杂,设备价格较昂贵;
       ②若真空镀膜机蒸发源附近的蒸气密度高,真空镀膜设备电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用,电子的能量将散失和轨道偏移。同时引起蒸气和残余气体的激发和电离,会影响膜层质量。