复合铜箔镀膜解决方案

制备导电种子层： 高分子薄膜（PET/PP）本身是绝缘的。PVD的第一步是在其表面沉积一层极薄（几十纳米）、致密且附着力强的金属层，为后续的电解加厚（电镀）提供导电基底。这是整个工艺的基石和最核心的环节。

实现超薄与均匀性： 必须在不耐高温的柔性薄膜上，实现纳米级厚度的超薄铜层的均匀沉积，对膜厚均匀性的要求极高（通常要求±5%以内）。

保证卓越的附着力： 金属层与聚合物基材之间的结合力必须足够强，能承受后续电镀、电池极片辊压及分切等过程的机械应力，防止剥离。

追求高生产效率与良率： 为满足锂电池TWh级别的巨大产能需求，必须实现宽幅、高速的连续生产，并保持高良率以控制成本。

卷绕PVD工艺流程

1. 放卷： 在真空锁室内装入PET/PP基材卷。

2. 预清洁： 薄膜首先经过等离子体清洁站，进行表面活化与清洁。

3. 一次沉积（打底层）： 根据需要，可能先经过一个阴极，沉积极薄的附着层。

4. 主沉积（镀铜）： 薄膜连续通过多个直流磁控溅射铜阴极，在两侧同步沉积铜层，直至达到目标厚度（约40-70nm）。

5. 冷却与监测： 在沉积过程中和沉积后，对薄膜进行冷却和在线质量监测（如膜厚、方阻）。

6. 收卷： 在出口真空锁室将完成PVD工序的“初级产品”收成卷。