通过将高产量与优异的涂层效果相结合,该设备能够使工业能够满足“准时”制造的要求。它是一种批次式溅射系统,能够处理大型基板的金属化,并提供多种镀膜工艺,包括彩色涂层、灰色调和等离子体增强系统。
旋转式前门设计,生产效率高
旋转式前门允许高生产率的加工和装卸顺序。基板可便捷加载到挂架或公自转转架
广泛应用的灵活溅射系统
用于金属高速沉积的磁控溅射沉积,以及用于沉积金属氮化物或金属氧化物层的反应磁控溅射。
先进的MF(中频)PECVD沉积源允许沉积透明的面漆和增强的耐擦拭层。
高效的抽油机易于操作
进一步的关键要素是高效真空泵系统,包括有效的冷冻盘管系统和灵活的工艺气体管理系统。