外框一体式大腔体结构时序 ALD 系统，内部集成 4 套独立工艺内腔，面向大型异形零部件工业化批量镀膜打造。单腔可放置直径＜500mm 大型异形工件，各内腔均配备独立喷淋头与专属进出气系统，支持分腔独立运行；标配热法 ALD 工艺，支持臭氧 ALD 工艺，可完成氧化铝等各类常见金属氧化物保护层沉积，以高性价比实现批量化生产，完美适配各类异形结构件镀膜需求。