HCVAC作为经验丰富的ITO溅射镀膜设备供应商,设备针对显示屏生产的材料性能进行了专项优化。与此同时,HCVAC与多家科研机构开展技术合作,持续致力于显示应用领域的ITO薄膜工艺研发与优化升级。
在柔性电子领域,磁控溅射 是卷绕PVD的绝对主流和首选工艺。
磁控溅射工艺的优势
低温沉积:柔性塑料基材(如PET, PI)无法承受高温(通常<150°C),磁控溅射在常温或低温下即可获得高质量薄膜。
膜层均匀致密:溅射出的粒子动能高,形成的膜层均匀、致密、附着力好,针孔少,这对于电子器件的性能至关重要。
沉积速率可控:易于控制沉积速率和膜厚,适合制备各种功能性薄膜(导电、阻隔、绝缘)。
靶材选择广泛:可溅射金属、合金、氧化物、氮化物等多种材料。
工艺稳定,易于规模化:非常适合与R2R系统集成,实现7×24小时连续生产。
在柔性电子中的应用价值
实现柔性器件制造:是生产柔性显示屏、柔性太阳能电池、柔性传感器、电子标签等产品的核心技术。
颠覆性成本优势:相比传统的单片式玻璃基板处理,R2R生产效率呈数量级提升,大幅降低了单位面积的生产成本。
轻、薄、可弯曲:产品最终形态具备柔韧性,开启了电子产品的新形态。
透明导电薄膜:用于触摸屏、柔性OLED照明与显示、薄膜太阳能电池。
高阻隔封装膜:用于柔性OLED和量子点显示的封装,保护器件不受环境侵蚀。
柔性印刷电子:RFID天线、柔性电路板。
智能包装与物联网。
光学薄膜:增透膜、反射膜、装饰膜。