金属双极板（通常为不锈钢、钛合金）在燃料电池中负责分隔反应气体、收集电流、传导热量和提供结构支撑。其工作环境极端恶劣：
酸性环境： PEM燃料电池中，pH值约为2~3。
高电位： 阴极侧电位可达~1.4V vs. SHE。
高温湿热： 工作温度80-90°C，相对湿度100%。
表面钝化： 金属表面会形成不导电的钝化膜，导致接触电阻急剧上升。
PVD镀膜的核心目标是：
超低界面接触电阻： 确保电池堆的低内阻，提升输出功率。
卓越的耐腐蚀性： 在强酸、高电位环境下长期稳定，防止金属离子溶出污染膜电极。
高致密性与附着力： 膜层必须完全无孔，完美覆盖基材，防止点蚀发生。
低成本与高产能： 满足燃料电池大规模商业化生产的需求。
PVD技术，特别是 磁控溅射，是制备此类高性能防护镀层的首选方案。它能制备出成分精确、结构致密、无孔且结合力强的纳米薄膜。
氮化物/碳氮化物薄膜（主流研究方向）
材料：氮化钛、氮化锆、氮化钛锆、氮化铬 以及 类金刚石碳。
优势：硬度高、耐磨性好、耐腐蚀性强，成本远低于贵金属。通过掺杂和复合可调控其电学性能。
PVD工艺：反应磁控溅射。在氩气和氮气（或乙炔，对于DLC）的混合气氛中，溅射金属靶材，在基板表面反应生成氮化物（或碳化物）薄膜。
