AR/VR/MR（统称为XR）眼镜是光学和材料技术的集大成者，而PVD和ALD镀膜技术正是实现其高性能、小型化和耐用性的关键所在。
XR设备对光学系统提出了极致的要求：高透光、高清晰、轻量化、薄型化、耐用性强。PVD和ALD技术能在原子/分子层面精确控制薄膜，从而满足这些苛刻需求。
PVD：主要用于沉积较厚的功能膜层，效率高，是光学薄膜（如AR/IR膜）的主流技术。
ALD：主要用于沉积超薄、保形性极佳、无针孔的纳米膜层，在复杂3D结构上表现优异。
这是PVD/ALD技术的核心应用领域。
1. 组合透镜
挑战：XR设备的“ pancake ”光学方案使用多个透镜，每个空气-玻璃界面都会产生约4%的反射，导致光损失、鬼影和眩光。
解决方案：
PVD 宽带抗反射膜：在透镜上沉积多层氧化物薄膜（如SiO₂, TiO₂, Nb₂O₅），通过精确的光学设计，在可见光范围内实现 >99.5% 的极高透光率。这是目前的主流方案。
ALD 抗反射膜：通过交替沉积两种材料（如Al₂O₃/TiO₂），可以构建梯度折射率膜层，实现更宽波段、更低反射率的效果，性能更优，但成本较高。
2. 波导
挑战：波导是AR眼镜的核心，其上的耦入、耦出区域需要极高的膜层均匀性和精度，以实现高图像质量和低杂散光。
解决方案：
PVD 沉积光学膜：用于制备波导上的反射或衍射光学元件所需的膜层。
ALD 保护膜：在脆弱的波导表面（尤其是衍射光波导）沉积一层超薄、致密的Al₂O₃或SiO₂膜，可以显著提升其耐刮擦、抗潮湿、抗化学腐蚀的能力，延长寿命。
3. 偏振片与相位延迟片
挑战：Pancake方案依赖偏振光学，这些薄膜通常由有机材料制成，易划伤、怕潮湿。
解决方案：
ALD 超薄膜封装：在偏振片表面沉积一层几十纳米的Al₂O₃膜，可以极大地阻隔水汽和氧气，防止其老化、失效，同时几乎不改变其光学性能。这是保证光学模组可靠性的关键。
1. 微显示屏
OLEDoS/Micro-LED：这些微型显示屏对水氧极为敏感。
解决方案：
ALD 薄膜封装：这是目前最先进、最有效的技术。在显示屏表面沉积多层（如Al₂O₃/ZrO₂）纳米叠层，形成完美的水氧阻隔层，确保显示屏的长寿命。
2. 深度传感器/ToF传感器
挑战：传感器窗口玻璃需要同时具备红外透过和可见光截止的功能。
解决方案：
PVD 红外带通滤光片：沉积多层介质膜，精确控制特定红外波段（如850nm, 940nm）的高透过，并截止可见光，防止环境光干扰。
