电离真空计是测量高真空的核心部件，通过电离气体分子并测量产生的离子流来测定真空度。根据电离方式的不同，主要分为以下两类：

一、热阴极电离真空计
工作原理：通过加热灯丝（阴极）发射热电子，电子在飞向阳极栅过程中获得足够能量，与气体分子碰撞使其电离，收集极测量产生的离子流，该电流与气体压力成正比。

优点：测量准确、稳定性好、线性度佳，是高真空测量的主流选择。

缺点：
X射线效应：电子撞击阳极栅会产生软X射线，照射收集极后引发光电子发射，形成与压力无关的“本底电流”，导致在超高真空（约<10⁻⁸ Pa）下测量值偏离真实压力。
化学清除：灯丝高温会使活性气体分子（如氧气）解离并被吸附，造成“抽气效应”，影响实际压力。
灯丝烧毁风险：在较高压力（如>10⁻² Pa）或突然暴露大气时，炽热的灯丝易氧化烧毁。

二、冷阴极电离真空计
工作原理：利用高压电场在真空中引发放电（冷阴极不加热），并施加外部磁场。电子在电场和磁场的共同作用下（洛伦兹力），进行螺旋运动，极大增加了与气体分子碰撞的电离概率，形成自持的等离子体放电。离子流与压力成正比。

优点：
结构坚固，无热丝，不怕大气冲击，寿命长。
无X射线本底电流限制，可测量更高的真空度（通常可达10⁻¹² Pa量级）。

缺点：
放电稳定性：在低压下放电可能不稳定，甚至存在“放电延迟”或“熄火”现象。
污染敏感：阴极表面污染会严重影响电子发射，导致测量不准。
强磁场干扰：真空计自身的强磁场可能干扰周围设备（如离子源），安装位置需审慎考虑。