High power impulse magnetron sputtering coating system HiPIMS溅射涂层系统
HiPIMS-800结合了经典直流溅射镀膜系统的所有优点和最新的HiPIMS技术的能力。该系统共配备六个溅射阴极，其中四个可以在HIPIMS或DC模式下工作。另外两个直流阴极可以操作，例如，提供更复杂的多层涂层，提供颜色和顶层涂层，或只是增加沉积速率。这些技术在一个过程中的绝对自由组合，以非常低的生产成本提供了有限的涂层设计范围。在纯HiPIMS模式下，沉积速率为2μm/h，处理时间为4-5小时。当所有6个阴极同时工作时，可达到3μm/h。这是迄今为止1.800圆柄工具或5.000可转位刀片涂层容量的难以置信的低生产时间。
HiPIMS-800能够沉积所有可用的HCVAC溅射涂层和市场上几乎所有的PVD涂层。此外，它是开发定制流程的理想机器。客户友好用户界面“数据视图”和集成规划工具“数据计划”有助于设计单独的涂层解决方案。您的涂层将使您的产品在市场上脱颖而出，让用户获得竞争优势。其他功能，如用户友好的平板电脑和手机远程控制，便于维护的组件，全自动阴极百叶窗，自动关门和快速更换涂层台的装置使HiPIMS-800成为生产和开发最先进的高性能涂层的最佳涂层系统。
