HCCA系列

低成本 高产量

Low cost and high output
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Cathode arc ion vacuum coating equipment 阴极电弧离子镀膜设备

      阴极电弧离子镀膜设备是一种高效、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。

      阴极电弧离子镀膜的原理是基于冷阴极自持弧光放电等离子体蒸发、电离镀料,结合脉冲偏压技术,提高沉积粒子能量和活性,增强膜层的各项性能。它不仅能在金属制品表面进行镀膜而且能在非金属制品表面上进行镀膜;可以镀金属膜,氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬及镍、铬、铜等化合物膜、多层超硬膜、多元化合物膜,还可以镀氮化钛掺金膜等。

      阴极电弧离子镀膜广泛应用于工具、模具的超硬涂层,高尔夫球具、钟表、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。

Product Advantage.

产品优势
HCCA系列阴极电弧离子镀膜设备包括以下关键功能:
  • 一致性

    整个腔室中均匀的镀膜沉积速率

  • 高效

    沉积速度快、离化率高、产量大

  • 简单

    易于操作与维护

  • 低成本

    单件镀膜成本低

  • 远程访问

    提供工厂远程诊断

  • 环保

    绿色生产,无污染产生

型号 HCCA-1215
真空室尺寸 Ф1200×H1500mm
制膜种类 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 多弧靶,选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 立式前开门结构(双层水套式或水槽式冷却)、后置抽气系统
真空系统 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵
加热系统 常温至350度可调可控(PID控温),不绣钢加热管加热
充气系统 质量流量控制仪(1-4路)
极限真空 6×10-4pa(空载、净室)
抽气时间 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟
保压率 1h≤0.6pa
工件旋转方式 上旋转或下旋转+公自转变频无级可控可调,0-20转/分
控制方式 手动+半自动/触摸屏+PLC
备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做
型号 HCCA-1618
真空室尺寸 Ф1600×H1800mm
制膜种类 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 多弧靶,选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 立式前开门结构(双层水套式或水槽式冷却)、后置抽气系统
真空系统 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵
加热系统 常温至350度可调可控(PID控温),不绣钢加热管加热
充气系统 质量流量控制仪(1-4路)
极限真空 6×10-4pa(空载、净室)
抽气时间 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟
保压率 1h≤0.6pa
工件旋转方式 上旋转或下旋转+公自转变频无级可控可调,0-20转/分
控制方式 手动+半自动/触摸屏+PLC
备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做
型号 HCCA-1619
真空室尺寸 Ф1600×H1900mm
制膜种类 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 多弧靶,选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 立式前开门结构(双层水套式或水槽式冷却)、后置抽气系统
真空系统 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵
加热系统 常温至350度可调可控(PID控温),不绣钢加热管加热
充气系统 质量流量控制仪(1-4路)
极限真空 6×10-4pa(空载、净室)
抽气时间 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟
保压率 1h≤0.6pa
工件旋转方式 上旋转或下旋转+公自转变频无级可控可调,0-20转/分
控制方式 手动+半自动/触摸屏+PLC
备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做
型号 HCCA-1820
真空室尺寸 Ф1800×H2000mm
制膜种类 金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型 直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
靶类型 多弧靶,选配中频孪生柱靶或平面靶
真空室结构 立式前开门结构(双层水套式或水槽式冷却)、后置抽气系统
真空系统 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵
加热系统 常温至350度可调可控(PID控温),不绣钢加热管加热
充气系统 质量流量控制仪(1-4路)
极限真空 6×10-4pa(空载、净室)
抽气时间 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟
保压率 1h≤0.6pa
工件旋转方式 上旋转或下旋转+公自转变频无级可控可调,0-20转/分
控制方式 手动+半自动/触摸屏+PLC
备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做
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