HCSH系列

低摩擦性能涂层

Low friction coating
真空应用解决方案提供商
首页 > 汽配设备 > 零部件功能涂层设备
Component functional coating equipment 零部件功能涂层设备

      专为摩擦性高负荷系统设计,低摩擦性能涂层的应用,为汽车零部件表面处理开启了新视角和技术解决方案,提高了系统效率和部件使用寿命,经过强化的摩擦性能不仅能防止零件磨损,还能在运行时对相对件进行抛光和保护。

      真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温。

      配置多只高效园形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。

     采用独有的磁场控制技术使电弧在靶材整个表面做快速的移动,涂层表面光滑致密,靶材表面被均匀刻蚀,优化了涂层结合力。低温至300℃,也具有出色的涂层附着力,新技术带来了更快的批次周转效率,优化了涂层生产效率,高精密度,在有效镀层范围内涂层厚度均匀。

Product Advantage.

产品优势
HCSH系列零部件功能涂层设备包括以下关键功能:
  • 结构紧凑

    占地面积小,易于集成到工厂

  • 一致性

    整个腔室中均匀的镀膜沉积速率

  • 简单

    易于操作维护

  • 模块化

    多种工艺技术灵活组合

  • DLC

    耐用类金刚石涂层镀膜

  • 监控

    本地或远程监控镀膜过程

型号 HCSH-400
有效等离子区域 D400×H450mm
最高工作温度 550℃
技术特点 PMAⅡ
AEG
HIPIMS
预处理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
阴极 D120 / D160 / W125
真空条件 极限真空≤5×10-4Pa
工作真空≤5×10-3Pa
工艺周期 关门到开门4~5h
TiN:2~2.5um
TiAlN:2~2.5um
TiSiN:2~3.5um
设备配置 磁悬浮分子泵
脉冲偏压电源
PC智能控制系统
标准转架 D140×4轴
最大装载量 200KG
备注 选用溅射(UBM,RF等)有效高度会适当减小
在线服务支持系统

Application cases.

应用案例
型号 HCSH-650
有效等离子区域 D650×H750mm
最高工作温度 550℃
技术特点 PMAⅡ
AEG
HIPIMS
预处理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
阴极 D120 / D160 / W125
真空条件 极限真空≤5×10-4Pa
工作真空≤5×10-3Pa
工艺周期 关门到开门5~8h
TiN:2~2.5um
TiAlN:2~2.5um
TiSiN:2~3.5um
设备配置 磁悬浮分子泵
脉冲偏压电源
PC智能控制系统
标准转架 D140×8轴
最大装载量 500KG
备注 选用溅射(UBM,RF等)有效高度会适当减小
在线服务支持系统

Application cases.

应用案例
型号 HCSH-900
有效等离子区域 D900×H1200mm
最高工作温度 550℃
技术特点 PMAⅡ
AEG
HIPIMS
预处理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
阴极 D120 / D160 / W125
真空条件 极限真空≤5×10-4Pa
工作真空≤5×10-3Pa
工艺周期 关门到开门7~10h
TiN:2~2.5um
TiAlN:2~2.5um
TiSiN:2~3.5um
设备配置 磁悬浮分子泵×2
脉冲偏压电源
PC智能控制系统
标准转架 D140×12轴
最大装载量 500KG
备注 选用溅射(UBM,RF等)有效高度会适当减小
在线服务支持系统

Application cases.

应用案例
您想要了解更多吗?

电话:13316689188

邮箱:office@hcvac.com