HCAR系列

车载镀AR+AF

qipei AR + AF plating
真空应用解决方案提供商
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Coating equipment of vehicle mounted display screen 车载显示屏镀膜设备

      旋转阴极装置与行内普通平面靶装置相比靶材使用周期与利用效率显著提高;可客制化的基板工件架结构定制,给客户产品摆放达到最大的利用空间;全自动一体的提拉升降的转架装置,大幅度减少机器开关门时间,大大提高了生产效率与工艺稳定性;汇成专利离子源具有工作范围广能量均衡,高离化率,超稳定工作效率,低耗能等特点。

      可利用时间精准控制薄膜厚度,达到设计工艺要求,节省晶控,光控环节,为客户省去大量的膜厚仪耗材;可生产高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低温成膜,可应对各种用途;自动调节气体流量专利装置,保持稳定的靶电压,保证成膜品质;可选“校正板外部调节机构”。

     溅射沉积系统在侧壁上装有多个圆柱形靶材,以提高沉积速率和多层涂层,该系统配备有直流脉冲或射频功率圆形阴极,垂直安装的基板和圆柱形阴极可最大程度地减少涂层过程中的颗粒污染。

AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):
■  420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

AS/AF膜测试标准:
■   初始接触角范围为 115±5°;
■   钢丝绒耐摩擦测试标准:用 0000#钢丝绒,面积为 10*10mm,行程 40 次/分,负载1Kg,5000 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
■   橡皮擦测试标准: 直径 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,负载1Kg, 2500 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
备注:测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃,表面光洁。

Product Advantage.

产品优势
HCAR系列车载显示屏镀膜设备机包括以下关键功能:
  • 紧凑

    占地面积小,易于集成到工厂

  • 专利技术

    汇成自主研发离子源

  • 精准

    精确监控膜厚

  • 低温技术

    小于70℃低温状态成膜

  • 自动化

    自动调节气体流量

  • 简单

    易于操作和维护

型号 HCAR-2100
镀膜区域 Φ2100x H1200mm
结构 立式单门,整体箱式布局
适用波长 380nm~780nm
转速 0~25RPM(可变)
成膜室抽速 4.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 5.0×10-4Pa
溅射靶材 Nb,Si,Cr,Al,In ...
夹具系统 底部中心旋转公转夹具桶
排气系统 低真空泵组 + 高真空泵组 + 低温泵
真空控制系统 真空控制器、皮宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 DC+MF磁控溅射源+等离子体源
充气系统 MFC+speedflo压强控制仪
膜厚控制仪 晶控仪
控制系统 工控电脑+触摸屏
光学薄膜应用 AR、硬质AR膜、硬质膜、装饰膜、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

应用案例
型号 HCEE-2700
尺寸(mm) Φ2700 x H1850
结构 立式前开门,SUS304不锈钢
适用波长 380nm~780nm
转速 0~30RPM(可变 variable)
抽速 大气压至2.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 8.0×10-5Pa
膜料 Tio2,Ti3o5,H4,Zro2,Zns,Al2o3,Mgf2,Sio2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
夹具系统 中心上旋转伞架,单体或分体
加热系统 铠装加热器,稳定250℃
排气系统 低真空泵组 + 高真空泵组 +  + Polycold
真空控制系统 真空控制器、皮宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 10KW电源,E型电子枪(270°偏转),穴型、腰型或环形坩埚,阻抗式蒸发源,可选射频/考夫曼型/霍尔型离子源
充气系统 MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪 晶控或光控
控制系统 工控电脑 + PLC + 触摸屏
光学薄膜应用 AR、UV/IR截止滤光片、AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、带通滤光片、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

应用案例
型号 HCAF-1619
尺寸 Φ1600x H1900mm
结构 立式单门,整体箱式布局
抽速 大气压至2.0×10-3Pa≤30min
极限真空度 8.0×10-5Pa
夹具系统 底部中心旋转行星式公自传夹具转轴
排气系统 低真空泵组 + 高真空泵组 +  Polycold
真空控制系统 真空控制器、皮宁及皮拉尼真空计
镀膜系统 DC或MF磁控溅射源+ 等离子体源 + 阻抗式蒸发源
充气系统 MFC
膜厚控制系统 晶控
控制系统 PLC+触摸屏
光学薄膜应用 AF、硬质膜、简单装饰膜、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

应用案例
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