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离子真空镀膜机镀膜技术介绍

2023-05-10

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       离子镀膜技术广泛应用于装饰真空镀膜机,硬质涂层真空镀膜机,连续式真空镀膜机,汽车零部件真空镀膜机等等,因其居于沉积速率快,摩擦均匀性好,膜层致密好,绕射性好等优点,被市场青睐。下面汇成真空小编为大家详细介绍一下离子真空镀膜机镀膜技术,希望能帮助到大家:

真空镀膜机

      离子镀是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质离子化,在气体离子或蒸发物质离子轰击作用下,把蒸发物质或其反应物蒸镀在工件上。其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。离子镀把辉光放电、等离子技术与真空蒸镀技术结合在一起,不仅明显地提高镀层的各种性能,而且大大扩充了镀膜技术的应用范围。离子镀除兼有真空溅射的优点外 ,还具有膜层的附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。因此,近年来在国内外得到了迅速的发展。离子镀的基本原理是借助一种惰性气体的辉光或弧光放电使金属或合金蒸汽离子化。离子镀包括镀膜材料(如TiN、TiC)的受热、蒸发、沉积过程。蒸发的镀膜材料原子在经过辉光区时,一小部分发生电离,并在电场的作用下飞向工件,以几千电子伏的能量射到工件表面上,可以打入基体约几纳米的深度,从而大大提高了涂层的结合力,而未经电离的蒸发材料原子直接在工件上沉积成膜。惰性气体离子与镀膜材料离子在工件表面上发生的溅射,还可以清除工件表面的污染物,从而改善结合力。
       离子真空镀膜机和蒸发镀膜机和磁控溅射镀膜机采用的技术是各不相同的,这几种镀膜技术原理也各具优势,可根据其镀膜工件和膜层选择不同的镀膜方式,从而达到市场需求。