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卷绕真空镀膜机高频感应蒸发源蒸镀法介绍

2022-01-12

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       卷绕真空镀膜机镀膜技术有电阻蒸发镀膜技术,感应蒸发镀膜技术,中频磁控溅射技术以及直流磁控溅射镀膜技术。高频感应蒸发镀膜技术,一般都是镀金银丝线,因为不能有大液滴等原因。

卷绕真空镀膜机

       卷绕真空镀膜机高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈中央,使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失(对铁磁体),致使蒸发材料升温,直至气化蒸发。膜材的体积越小,感应的频率就越高。在钢带上连续真空镀铝的大型设备中,高频感应加热蒸镀工艺已经取得令人满意的结果。
       高频感应蒸发源的优点,蒸发速率大,可比电阻蒸发源大10倍左右,蒸发源的温度均匀稳定,不易产生飞溅现象,蒸发材料是金属时,蒸发材料可产生热量,蒸发源一次装料,无需送料机构,温度控制比较容易,操作比较简单。
       卷绕真空镀膜机高频感应蒸发源缺点是,必须采用抗热震性好,高温化学性能稳定的氮化硼坩锅,蒸发装置必须屏蔽,并需要较复杂和昂贵的高频发生器,线圈附近的压强是有定值的,超过这个定值,高频场就会使残余气体电离,使功耗增大。