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光学真空镀膜机结构

2021-12-10

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      日常我们所用的手机屏幕,摄像头,手机壳,电视显示屏、投影仪、滤光片等等,都采用了光学真空镀膜机镀上了一层膜层,改变了其性能和美观度,被市场高度青睐和应用。


光学真空镀膜机


       光学真空镀膜机由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成,其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是镀膜机的主体,镀膜过程就是在真空罐中完成的,通过连接阀将真空罐和排气系统相连。为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量,在工作时,必须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成,负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。蒸镀系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置有很多种,如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。
      光学真空镀膜机通过真空溅射的方式在光学元件上涂镀薄膜, 以此改变元件对入射光线的反射率和透过率。同时,为了尽可能地减少元件表面的反射损失、提高成像质量,往往涂镀多层薄膜。光学元件镀膜后,光在多层膜层的表面进行多次反射和透射,形成多光束干涉,通过控制膜层的厚度和折射率,可以得到不同的强度分布。利用这一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等,以满足更加复杂的需求。