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高频感应蒸发镀膜机镀膜技术及优缺点介绍

2021-10-14

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      高频感应蒸发镀膜机也是属于蒸发镀膜机中的一种类型,采用的坩埚蒸发源和电阻蒸发镀膜机、电子束蒸发镀膜不太一样。高频感应蒸发镀膜机是采用感应线圈去加热膜材的,因此取名为高频感应蒸发镀膜机,那它有和别的蒸发镀膜机有什么区别和优势呢?

蒸发镀膜机

      高频感应蒸发镀膜机采用的蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈中央,使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失(对铁磁体),致使蒸发材料升温,直至气化蒸发。膜材的体积越小,感应的频率就越高。在钢带上连续真空镀铝的大型设备中,高频感应加热蒸镀工艺已经取得令人满意的结果。


高频感应蒸发源的特点:
      1)蒸发速率大,可比电阻蒸发源大10倍左右;
      2)蒸发源的温度均匀稳定,不易产生飞溅现象;
      3)蒸发材料是金属时,蒸发材料可产生热量;
      4)蒸发源一次装料,无需送料机构,温度控制比较容易,操作比较简单。
 
高频感应蒸发镀膜机的缺点是:
      1)必须采用抗热震性好,高温化学性能稳定的氮化硼坩锅;
      2)蒸发装置必须屏蔽,并需要较复杂和昂贵的高频发生器;
      3)线圈附近的压强是有定值的,超过这个定值,高频场就会使残余气体电离,使功耗增大。