扩散泵是一种高真空获得设备，极限在-5pa级泵，抽速大，效率高，能够忙速抽气，一般应用在真空镀高，抽速要求大的设备上，是真空镀膜机一个重要部件，
真空镀膜机采用扩散泵抽真空，大部分都是大型设备，那么相对来说，成本会比较高，因此，大部分商家都非常重视真空镀膜机扩散泵的维护和保养，下面汇成真空小编为大家详细介绍一下扩散泵如何维护和保养：
第一：扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
第二：扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
第三：被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
第四：扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
第五：扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
第六：待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
第七：在重新开
真空镀膜机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好大门，数分钟后，观察真空度，同时检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。
