多功能真空镀膜机是磁控溅射、多弧离子、蒸腾镀膜的混合性设备，是在多弧离子镀膜机的基础上装备圆柱靶或平面磁控靶，设备具有离子镀的高离化率、高堆积速度的特色，一起也具有磁控溅射低温、安稳的长处，合适镀各种复合膜。
多功能真空镀膜机--磁控、中频、多弧离子镀膜具体介绍：
（1）蒸腾与磁控溅射的混合设备: 多功能，合适量产，适应性强。
（2）磁控溅射与多弧离子镀的混合运用: 多弧能够进步炮击清洗质量，添加薄膜与基材结合力。与磁控溅射一起作业可镀制复合膜（高能离子源清洗活化，成膜速度快）。
（3）多对中频磁控溅射靶与柱弧离子镀的混合运用: 1.中频靶更安稳（如Al ），离化率高、堆积速率快、成膜均匀。2.中频反应溅射如镀制Si02、TiO2，一起镀多层不一样原料簿膜。
（4）射频、直流、中频、柱弧的混合运用: 射频能够直接镀制绝缘保护膜如SiO2/Ag/SiO2
（5）圆柱弧、中频、多弧的混合运用: 柱弧确保高离化率的一起，削减大颗粒堆积的份额，到达有好的结合力又有较好表面光洁度的作用。
多功能真空镀膜机适用中高层次商品如表带、表壳、眼镜框、手机壳、高尔夫球具、卫浴洁具、饰品等。
