超厚金属涂层
超厚金属涂层
超厚多元合金涂层和超厚氮化物涂层，连续沉积多元合金涂层厚度可达120um以上，实现单靶三维旋转≥6.5um/h，连续沉积氮化物涂层25um以上，实现单靶三维旋转≥3um/h，提高了工件表面的硬度，为航空发动机叶片修复、汽轮机叶片边缘的冲蚀问题提供了新的解决方案。
功能涂层设备应用
超厚多元合金涂层和超厚氮化物涂层，连续沉积多元合金涂层厚度可达120um以上，实现单靶三维旋转≥6.5um/h，连续沉积氮化物涂层25um以上，实现单靶三维旋转≥3um/h，提高了工件表面的硬度，为航空发动机叶片修复、汽轮机叶片边缘的冲蚀问题提供了新的解决方案。
DLC涂层具有较高的硬度、优异的减摩耐磨性能、高热导率、低介 电常数、宽带隙、良好的光学透过性以及优异的化学惰性和生物兼容性 等，在航空航天、机械、电子、光学、装饰外观保护、生物医学等领域 有着广阔的应用前景。DLC涂层适合于磨损和滑动的环境下，在没有任 何润滑介质的条件下，可以降低摩擦损耗，可以用于汽车发动机零部件（燃油喷射系统、动力传动系统）、轴承、滚轮、纺织机械、航空航天 等众多领域。
HCVAC利用UBM技术开发一种无氢非晶碳膜（a-c） 。是一种低摩擦、高耐磨、固体润滑涂 层。该涂层是一种具有石墨微晶结构的导电碳基涂 层。与标准DLC型涂层相比，GLC涂层具有更好 的抗摩擦磨损性能，适用于多种应用场合。
HCVAC开发出具有自主知识产权的， 适用于制备ta- c涂层电弧阴极模块，该设备可以沉积硬度超过40Gpa的超硬ta-c涂层，可在HCSH系列标准设备上沉积ta-c涂层。
HCVAC-PVD
