行业应用

Industry Application
MEMS、SAW滤波器
MEMS可以检测环境的变化并通过微型电路产生相关反应。
MEMS的主要部分包括sensor(微传感器)或actuator(微执行器)和transducer(转换装置)。
其中sensor可以检测某种物理,化学或生物的存在或强度。