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真空镀膜机抽真空和放气过程的变化

2020-12-01

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       真空镀膜机原型装置真空靶室结构由直径、厚度的开有多个窗口的球壳体、真空靶室支撑架、终端光学组件、高精度靶支撑调整组件、高精度靶定位监测仪、连接在靶室球壳上的各种物理参数诊断测量仪以及与终端光学组件相连的辅助支撑架等组成。


真空镀膜机


       真空靶室过渡圆盘;真空靶室调节组件;1-真空靶室支撑钢架。其中支撑腿和终端光学系统的辅助支撑架采用。为避免过多的局部模态,建模时将其用刚性实体来代替;为简化模型,对终端光学组件等采用均密度的实体等效,这样简化对结果影响很小。在分析靶室圆度误差的模型中,只考虑了一种特殊情况,即最大圆度误差,靶室呈椭球,其短轴在向,长轴在向。其中坐标系定义为:坐标原点在靶室球心位置,从西经指向东经为正向,从南纬指向北纬为正向,正向由右手法则确定,轴垂直于赤道上孔径为的法兰面。
       计算分析结果在靶室的静力计算中,在抽真空前后,靶室的最大平动位移相差不大,说明靶室在静态时结构的变形主要受自重的影响;对终端光学系统加辅助支撑后,靶室的最大平动位移略微变小;在作者所考虑的一种特殊圆度误差情况下,靶室的最大平动位移略微变小。靶室静力分析计算结果实际测量结果测量方法以靶室赤道面的两对正交法兰中心线的交点作为靶室中心,在处放置的目标靶球。在所关注的特征点处安放反射镜,激光器发出的激光指向特征点,并用测角仪观察该点在反复对靶室进行抽真空和放气过程中的相对位置变化,即可获得所关注特征点的变形数据。
     广东汇成真空多年来专业从事各种真空镀膜应用设备制造,不断引进国外先进的真空镀膜机,多年来致力于研发和生产真空镀膜机,以最新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备,为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。