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PVD涂层真空镀膜机检漏技巧

2020-12-01

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       相信同行们对PVD涂层真空镀膜机检漏都有自己的方法,东莞市汇成真空科技有限公司多年来从事研发和制造各种真空镀膜设备,因此如何对PVD涂层真空镀膜机检漏进行研究,汇成真空专家表示:


涂层真空镀膜机


      首先对于正在加工制造过程中的PVD镀膜容器或装装置来说,最好采用PVD镀膜气泡检漏法。PVD镀膜气泡检漏法是在被检件内充入一定压力的示漏气体后放到液体中,PVD镀膜气体通过漏孔进入周围的液体形成气泡,PVD镀膜气泡形成的地方就是漏孔所在的位置,根据气泡形成速率、气泡的大小,以及所用气体D液体的物理性质,PVD镀膜可以大致估算出漏孔漏率。
       PVD镀膜罩子法:PVD镀膜用乙烯塑料袋(罩子)把整个装置罩起来,PVD镀膜再把氦气充入袋中,也就是将整个真空容器浸在氦中进行检漏的方法。PVD镀膜压强上升法,在充分抽气之后,关闭主阀、粗抽阀和漏气阀,用B-A电离真空规测定器内压强上升的变化情况来判断有无漏气的一种方法。
       PVD涂层真空镀膜机镀膜是漏气所产生的压强上升部分和材料放气所产生的压强上升部分之和,最终现为与时间成正比的直线上升。当PVD镀膜曲线呈现上述这种状态时,表明装置漏气。PVD涂层真空镀膜机没有漏仅有材料放气,曲线应呈现饱和状态;没有材料放气只有漏气时,一开始就是一条与时间成正比的直线。