ITO/ISI horizontal inline coating machine ITO/ISI卧式连续镀膜生产线

     该设备是一款大型平面磁控溅射连续生产设备，采用模块化设计，方便日后扩展升级；配备多组大型磁控阴极，可适用于多种膜系结构的组合；全自动化控制，高稳定性传动系统，可与机械手无缝对接，实现连续稳定的流水线作业；生产节拍快，产量大。

优势：

•采用闭环控制器的高反应溅射率
•出色的气体分离技术
•灵活配置以满足特定的生产需求
•3、5或7倍微调气体分布以提高涂层均匀性
•优化的磁性配置，具有出色的均匀性和利用率
•兼容工业机器人的自动装卸