功能涂层设备应用

Equipment application
ta-c涂层

        HCVAC开发出具有自主知识产权 的, 适用于制备ta- c涂层电弧阴极模 块,该设备可以沉积硬度超过40Gpa的 超硬ta-c涂层,可在HCSH系列标准设 备上沉积ta-c涂层

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