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产品介绍：
该系列设备采用电阻加热；采用多温区加热方式，温度均匀性好；设备配置液压加压系统，压力控制精度高、设备智能化程度高，操作简单，安全可靠。
主要用于陶瓷材料、靶材、多层金属丝网膜的真空热压烧结工艺。 同时可用于异种材料的压力扩散焊接。
| 典型应用： | |
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| ITO靶材 | 陶瓷靶材 |
| 真空热压扩散焊炉 | |||
| 有效区mm | 600×600×600 | 300×300×600 | |
| 最高温度 | 1350℃ | 1600℃ | |
| 温度均匀性 | ≤±5℃ | ≤±5℃ | |
| 极限真空度 | 8x10-4Pa | 8x10-4Pa | |
| 工作真空度 | 5x10-3Pa | 5x10-3Pa | |
| 压升率 | 0.67Pa/h | 0.67Pa/h | |
| 压头设计压力 | 100T | 40T | |
| 压力调节范围 | 0.7-100T | 0.7-40T | |
| 工作行程 | 上压头行程100 mm | 上压头行程50 mm | |
| 压头的平行度 | ≤0.1mm | ≤0.1mm | |
| 压头同心度 | ≤0.5mm | ≤0.5mm | |
| 压头空载速度 | 5-30mm/min | 5-30mm/min | |
| 非标准炉型可以定制 | |||
