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DLC涂层真空镀膜机的原理

2020-10-19

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       DLC涂层真空镀膜生产工艺流程一般包括DLC镀膜前处理、DLC镀膜和DLC镀膜后处理3大步。

       DLC真空镀膜机镀膜前处理是获得良好镀层的前提,DLC镀膜一般包括机械加工、酸洗、除油等步骤。DLC镀膜机械加工是指用机械的方法,DLC镀膜除去镀件表面的毛刺、氧化物层和其他机械杂质,使镀 件表面光洁平整,这样可使DLC镀膜与基体结合良好,防止毛刺的发生。DLC镀膜酸洗的目的是为了除去镀件表面氧化层或其他腐蚀物。DLC镀膜除油的目的是清除基体表面上的油脂。


DLC真空镀膜机


      DLC镀膜件经镀前处理,即可进人DLC镀膜工序。DLC镀膜在进行DLC镀膜时还必须注意DLC镀膜液的配方,电流 密度的选择以及温度、等的调节。DLC镀膜需要说明的是,单盐电解液适用于形状简单、外观 要求又不高的镀层,络盐电解液分散能力高,DLC镀膜时电流密度和效率低,DLC镀膜主要适用于表面 形状较复杂的镀层。   

      当DLC涂层真空镀膜机镀膜真空室内的真空度为13Pa时,DLC镀膜在阴阳两电极间加上一定的电压,气体发生自激放电,DLC镀膜从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳板或真空室的壁上。DLC镀膜放电回路,DLC镀膜是靠气体放电产生的正离子向阴极运动和一次电子向阳极运动形成的。DLC镀膜放电是靠正离子撞击阴极产生二次电子。DLC镀膜的主要缺点是沉积速率低,镀件温升。DLC镀膜是一种异常阴极辉光低压等离子体放电,DLC镀膜源是利用磁控管原理(即磁场与电场正交,磁场方向与阴极表面平行)制成的源。

      DLC真空镀膜机镀膜源的放电是通过气体电离产生的正离子在阴极电位吸引下,DLC镀膜以几百电子伏特的能量撞击阴极从阳极获得电子成为中性原子反射出来,与此同时出阴极靶原子,飞向镀件堆集成膜,从阴极打出的二次电子,穿过克鲁克斯暗区,DLC镀膜受电场加速而获得能量,DLC镀膜进入等离子体成为一次电子,一次电子在正交的电磁场中,运动方向与电场、磁场垂直,呈圆滚线运动轨迹。DLC镀膜与除了一次电子的运动轨迹不同外,其他放电机理基本相同。