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高精度全自动真空镀膜机光控系统说明

2020-09-14

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      充分考虑到国产镀膜机还停留在以晶控操作为主、镀膜层数少、中心波长定位差、无自动光控系统、高压不稳定等等缺陷而设计开发的高精度全自动光控控制系统,可以连续镀膜层数达100多层,使镀膜产品合格率大幅提高,特别适合于镀制各种膜系的监控包括非规整膜的监控。

镀膜机


本系统介绍共4章:
第一章: 光信号界面功能介绍 ;
第二章: 膜系界面功能介绍 ;
第三章: 光控系统操作步骤 ;
第四章: 注意事项和计算机连接图。

第一章:光信号界面功能
1、新建-打开-保存-另存为-退出。
2、编辑—剪切、复制、粘贴、删除。
3、查看。查看360材料清单-平均化把光信号曲线均匀化。
4、帮助。系统资料说明包括查看系统序列号。
5、行动。传送膜系到360-采集光信号。
6、打开。打开档案对话框。
7、停止。中止电脑采集膜厚仪光信号。镀膜过程中禁止使用。
8、属性。分为光信号 、控制系统、其它三部分。
9、退出 。指退出控制系统回到桌面。
10、表格里 。竖X表为反射或透射率单位为百分比。横Y表为时间单位为秒S。
11、表格下面。反射率或透射率有数字显示。
12、表格右面显示镀膜过程中当前层数据。

第二章:膜系输入界面功能
1、档案、编辑、查看、帮助、行动、打开、停止、属性、退出 这九项功能同第一章。
2、膜系输入界面底面为蓝色部分需人工输入设计膜系资料其余部分栏目为电脑自动计算并显示结果。
3、表格第一栏监控片。材料-折射率。
4、表格左面竖立表格栏。
5、第二栏起表格中所指的材料-折射率-监控波长-光学厚度-监控位-速率-预镀层-物理厚度-镀膜时间-开始方向-理论最小-理论最大-起始点-停靠点-极值点数目。
6、膜层最后一栏中的air折射率 - 指空气的折射率。
7、 膜系输入界面最下层。插入-删除-应用-模拟。

第三章:光控操作步骤
1、新真空镀膜机使用首先要确认光控系统线路连接正确再打开计算机主机、显示器电源进入桌面在电脑USB口插入加密狗。
2、双击optical-monitoring登录操作系统用鼠标点击“膜系”进入膜系界面点击“行动”菜单选择采集光信号采集光信号并查看信号源是否符合光控系统需要。反之需要调整好光路信号并达到光控系统需要。燥声比不能大于0.3 。
3、点击“膜系”进入新的膜系输入界面或者点击“打开”打开光控档案资料选择所需档案资料。点击“插入”选择工艺所需空格层数在蓝底部分需输入新膜系数据点击“应用”电脑会自动计算出空格白底部分参数值。打开“档案”点击“保存”保存好新膜系数据资料。再点击“模拟”就会得出理论模拟光信号波形。如果输入的膜系资料参数有问题点击“应用”后计算机会在错误数据底部显示红色或者退出控制系统回到桌面。如有数据底部显示红色则表示输入的工艺参数资料有问题必须细致检查输入工艺参数并修改正确后才能使用或者需重新输入工艺膜系资料。
4、一切准备就绪点击“开始镀膜”镀膜机进入自动控制镀膜状态。
5、半自动系统在开始镀膜前会弹出小型对话窗口要求所需波长尽快调整单色仪所需波长点击“OK”镀膜机开始镀膜。
6、半自动系统在真空镀膜中还会弹出小型对话窗口要求转换监控片位置尽快人工调整监控片位置后点击“OK”系统会自动连续镀膜。
7、半自动系统在真空镀膜中还会重复弹出小型对话窗口按上所述5或者6步骤重复操作即可。

第四章 注意事项和计算机连接图
1、采集光信的燥声比值要小于0.3 燥声比值越小对光控系统的稳定性能越好反之可能使光控系统无法正常工作。
2、SWA-I-05型的监控方法为过极值法要求每层膜至少要过一个极值点。
3、要求镀膜机和光控系统的对地电阻≤4Ω
4、光信号波形中的“红点”表示“拐点”位置。
5、在镀膜机镀膜过程中除工艺需要禁止调节膜厚仪量程。
6、在连接线路和使用光控系统前请仔细阅读本使用手册。连接线路不正确会出现损坏膜厚仪、电脑、A/D卡等仪器的主要部件。