镀膜线应用

Equipment application
ZnO膜

ZnO氧化锌基薄膜的研究进展迅速,材料性能已可与ITO相比拟,结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜AZO研究较为广泛,它的突出优势是原料易得,制造成本低廉,无毒,易于实现掺杂,且在等离子体中稳定性好,很快成为新型的光伏TCO产品。

氧化锌(ZnO)材料资源丰富,且作为透明电极的性能优越,因此作为使用稀有金属的平板用ITO(掺Sn氧化铟)膜的替代材料受到广泛的关注。另外,氧化锌在透明性和表面平坦性方面具有比ITO更为优越的特性,可望拓展新的应用,本公司采用溅射法,可支持GZO(掺Ga ZnO)和AZO(掺Al ZnO)的成膜。

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