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真空腔体
  • 客制化模组及客制腔体是依照客户需求进行设计和工程规划,组装及测试完成后即可使用,提供客户特定的操作如真空排气、基材除气和产品检验等功能,客制化模组通常包括了真空腔体、架台、真空PUMP、真空管路及控制系统等基本配备,各种组件都可以依照客户规格来搭配。
  • 连续式(In-line)设备腔体的几何形状大都为矩形,依照基板传输方位可分为立式和卧式,腔体之间视制程的需求装置阀门作为区隔,连续式腔体可以应用在:防电磁波干扰(Anti-EMI)镀膜设备,表面装饰镀膜(SDC)设备、触控面板镀膜设备、薄膜太阳能电池镀膜设备,Low-E玻璃镀膜设备。
  • 批次式(Batch type)设备的腔体形状及尺寸不一,例如要求冷却效果而设计的双层腔体,为了提升产能而设计的双门腔体,其他如真空度要求、成膜方式、制程气体种类及基板材质等都会影响真空腔体的设计,穗诚真空设备可以配合客户需求并提供相关参考经验达到真空腔体设计的最佳化。
  • 先进制程的开发初期都需要在实验室进行许多测试,汇成真空设备制造之客制化真空腔体装配于多种实验设备,为研究者提供了适当的工具以进行各项先进制程实验。